聚焦离子束电子束双束显微镜 DB500

聚焦离子束电子束双束显微镜DB500拥有自主可控的场发射电子镜筒和“承影”离子镜筒，是一款优雅全能的纳米分析和制样工具。高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，低电压高分辨率成像，保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒采用液态镓离子源，拥有高稳定、高质量的离子束流，保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器、电子物镜防污染机构，拥有24个扩展口，配置全面，自主可控，扩展性强，为您打造全能纳米分析和加工中心。

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应用参数

电子束系统	电子枪类型	高亮度肖特基场发射电子枪
	分辨率	1.2 nm@15 kV
	加速电压	20 v ~ 30 kV
离子束系统	离子源类型	液态镖离子源
	分辨率	3 nm@30 kV
	加速电压	500 V ~ 30 kV
样品室	真空系统	全自动控制,无油真空系统
	摄像头	三摄像头
	摄像头	(光学导航+样品仓内监控x2)
	样品台类型	五轴机械优中心样品台
	样品台行程	X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm
	样品台行程	T: -10°~+70°，R: 360°
探测器和扩展	标配	镜筒内电子探测器
	标配	旁侧二次电子探测器(ETD)
	选配	插入式背散射电子探测器(BSED)
		插入式扫描透射探测器(STEM)
		能谱仪(EDS)
		背散射衍射(EBSD)
		纳米机械手
		气体注入器
		等离子清洗
		样品交换仓
		轨迹球&旋钮控制板
软件	语言	中文
	操作系统	Windows
	导航	光学导航、手势快捷导航
	自动功能	自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散