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  • 超高分辨场发射扫描电镜 SEM5000X

    场发射扫描电镜SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜,其分辨率达到了突破性的0.6nm@15kV和1.0nm@1kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术(SuperTunnel)以及镜筒工艺升级,实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓,扩展接口增加至16个,快速换样仓最大支持8寸晶圆(最大直径208mm),极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强,带来了更强的性能和更好的体验。
    产品咨询

    应用参数

    关键参数分辨率0.6 nm @ 15 kV,SE
    1.0 nm @ 1 kV,SE
    加速电压20 V ~ 30 kV
    放大倍率1 ~ 2,500,000 x
    电子枪类型肖特基场发射电子枪
    样品室真空系统全自动控制
    摄像头双摄像头(光学导航+样品仓内监控)
    样品台类型五轴机械优中心样品台
    样品台行程X=110 mm, Y=110 mm,Z=65 mm
    T:-10°~+70°,R: 360°
    探测器和扩展
    标配镜筒内电子探测器
    旁侧二次电子探测器(ETD)
    选配插入式背散射电子探测器(BSED)
    插入式扫描透射探测器(STEM)
    能谱仪(EDS)
    背散射衍射(EBSD)
    样品交换仓(4寸和8寸可选)
    轨迹球&旋钮控制板
    样品台减速
    磁场噪音屏蔽系统(SEMI认证)
    软件语言中文
    操作系统Windows
    导航光学导航、手势快捷导航
    自动功能自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散

    产品特点

    超高分辨率

    超高分辨率(0.6 nm@15 kV)

    高压隧道技术

    高压隧道技术

    双减速模式

    *双减速模式(Dul-Dec)

    机械优中心样品台


    机械优中心样品台

    快速换样仓

    *快速换样仓(最大8寸)

    产品优势

    •超高分辨率成像,达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

    •样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术,挑战极限样品拍摄场景

    •高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计,可搭配整体罩壳设计,极大减弱环境对极限分辨率的影响

    •自主可控,扩展性强,集成化设计的离子源更换时间快,极致的售后服务,提供免费的三年质保无忧服务

    应用案例

    组 1259@2x

    波导/1 kV/ETD-SE

    5000x-磁性粉末_副本

    磁性粉末/10 kV/Inlens

    催化剂

    催化剂/1 kV/ETD-SE

    二氧化硅球

    二氧化硅球/3 kV/ETD-SE

    光刻胶

    光刻胶/2 kV/ETD-SE

    介孔二氧化硅

    介孔二氧化硅/1 kV(Dul-Dec)/lnlens

    金颗粒

    金颗粒/1 kV/Inlens

    蓝宝石衬底

    蓝宝石衬底/5 kV/ETD-SE

    泡沫镍

    泡沫镍/2 kV/ETD-SE

    肾脏切片

    肾脏切片 /5 kV/BSED-COMP

    芯片(金属层)

    芯片(金属层)/ 116x / BSE / 120 ns

    阳极氧化铝板

    阳极氧化铝板 /10 kV/Inlens


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    扫描电镜应用案例

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